Izvedli smo analizo stebričkov izdelanih s fotolitografijo iz fotorezista SU-8 za uporabo v mikrofluidnih sistemih. Debelina tega specifičnega vzorca je bila 100 µm. To vrsto fotorezistov uporabljamo za različne vrste aplikacij, kot so: industrija mikroelektronike, mikrofluidika, za mikroelektromehanski sisteme, za laboratorije na čipih in bioelektroniko.

Po analizi smo uporabili tehniko FIB za mikro bowling, da smo prikazali zmogljivost in natančnost našega integriranega sistema mikromanipulatorja. V spodnjem videu je prikazan zanimiv način, kako lahko uporabljamo mikromanipulator, lahko pa ga uporabimo tudi za: npr. pripravo TEM lamel, izdelava nano vezij in analizo napak v polprevodniški industriji.

Eksperiment je bil izveden v sodelovanju s podjetjem Midalix (https://midalix.com/).